測量殘留氣體成分的智能真空計

日本vista用于測量殘留氣體成分的智能真空計SC-10

?通過監(jiān)視殘留氣體成分，可以監(jiān)視真空裝置的健康狀況，并可以立即發(fā)現(xiàn)異常。
?用此一臺可以測量真空度（總壓力）和氣體成分（分壓）。

SC-10智能真空計是我們開發(fā)的一種全新的自動真空計，可以測量殘留氣體成分和總壓真空。
總壓力真空是從大氣壓到10-7Pa的超高真空，當總壓力達到約50Pa時，氣體成分的分壓會自動啟動，并且可以測量約10-5Pa至10-6Pa ...
可以在粗糙的壓力范圍內(nèi)測量氣體成分并檢查泄漏，這是常規(guī)氣體分析儀無法做到的。

由于智能真空計可以測量殘留氣體的成分，因此可以快速了解真空設(shè)備的聲音狀況，例如排氣裝置中的水蒸氣泄漏和脫氣。下兩個圖顯示了同一設(shè)備的不同排氣數(shù)據(jù)，但在圖1中顯示了正常排氣，其中水蒸氣是主要成分，并且確定了總壓力真空，而在圖2中，氮氣是由于泄漏造成的。可以看到，從下降的排氣開始大約5分鐘后，排氣停止了，如果繼續(xù)排氣，則大約10分鐘后，氮含量變得比水蒸氣大，并且總氮含量下降。壓力真空停止。通過使用智能真空計，您可以快速發(fā)現(xiàn)排氣異常及其原因，而僅通過監(jiān)視總壓力真空是無法理解的。

使用智能真空計不僅可以發(fā)現(xiàn)泄漏，還可以噴射氦氣或氬氣以找到泄漏的位置。圖3顯示了在泄漏點上噴射氬氣時的智能真空計的數(shù)據(jù)，但是可以看到，由于氬氣的增加和氮氣的減少，這里存在泄漏。在停止泄漏之后，如圖4所示，氮氣和氧氣減少，水蒸氣成為主要成分，并成為典型真空裝置的殘留氣體成分。

日本vista用于測量殘留氣體成分的智能真空計SC-10

測定原理

SC-10通過測量總壓力的冷陰極壓力表的放電顏色來區(qū)分氣體成分。通過利用光的顏色（波長）根據(jù)氣體成分而不同的事實來測量該成分。也可以在SC-10的光譜模式屏幕上查看氣體成分的波長。
由于氣體成分測定部設(shè)置在大氣壓側(cè)，因此不會被真空中的氣體污染，因此能夠不受污物的影響而進行測定。此外，冷陰極規(guī)沒有燈絲，因此可用于堅韌耐用的應(yīng)用。