腐蝕性特殊氣體用哈司特鎳合金壓力傳感器

日本pureron腐蝕性特殊氣體用哈司特鎳合金壓力傳感器PC-601系列

半導體設備的生產線中、HBr、HCl等鹵素反應性、腐蝕性特殊氣體大量被使用。這些腐蝕性氣體會在使用的氣體供給管道、壓力傳感器、氣體過濾器等不銹鋼內表面吸附并 和少量的水分反應，形成腐蝕生成物。這種物質是產生微粒子造成半導體工藝污染的原因。因此，我們采用了遠比不銹鋼SUS316L具有耐腐蝕性的哈司特鎳合金® 開發出這種對應腐蝕性氣體的壓力傳感器PC-601系列。

• 高耐腐蝕性
  對應HBr、HCl等鹵素反應性、腐蝕性特殊氣體，氣體接觸部分采用遠比不銹鋼SUS316L具有耐腐蝕性的哈司特鎳合金®，并進行了電解研磨處理，充分發揮了其 出色的耐腐蝕性能力。
• 高精度、高可靠性
  直線性、滯后性、重復精度的影響造成和優擬合線的偏差為±0.25％，具備高精度和高可靠性。
• 測定范圍寬
  表壓的壓力范圍從0～172.4KPA（1.76KGf/cm²）到20,684KPa（210KGf/cm²），壓的壓力范圍為0～2,586torr。
• 使用壽命長
  各測量范圍都通過了100萬次的循環耐久測試。

日本pureron腐蝕性特殊氣體用哈司特鎳合金壓力傳感器PC-601系列

規格

※所有的表壓類型可以連成。