lintec高性能數字質量流量控制器MC-3000L 便攜式超聲波流量計

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更新日期：2024-03-24

簡要描述：

lintec高性能數字質量流量控制器MC-3000L
高性能數字質量流量控制器，具有 ±1% SP 保證。

品牌	其他品牌	類型	超聲波
測量范圍	1m3/h

lintec高性能數字質量流量控制器MC-3000L

高性能數字質量流量控制器，具有 ±1% SP 保證。

LINTEC的環境溫度補償傳感器即使在低溫下也能實現高精度的流量測量。它可抑制由于傳感器受熱而導致的老化劣化，甚至可以控制流量，即使是臭氧等高度可降解的氣體。

作為選項，高性能、數字質量流量控制器可以處理液化氣、微流量 F.S.、寬范圍、表面間距和接頭名稱。

長處

由于CVD（化學氣相沉積）ALD沉積設備和蝕刻設備中使用高活性氣體，因此具有高耐腐蝕性金屬密封的氣體質量流量控制器至關重要。

此外，前驅體在常溫常壓下含有大量液化氣體，因此具有耐熱性且不易液化的閥門結構很重要。 MC-3000L高精度質量流量控制器可從液化氣選項中選擇，最高工作溫度為50°C（可選55°C）。

分析儀可能需要控制分鐘流速，但一般質量流量控制器的最小F.S.為5 SCCM，無法控制分鐘流速。 MC-3000L高精度質量流量控制器可選配F.S.1SCCM或更低尺寸。詳情請聯絡我們。

此外，高精度質量流量控制器MC-3000L還標配低死體積隔膜閥。

lintec高性能數字質量流量控制器MC-3000L

溫度	最小壓差	最大壓差	精度	控制范圍	低標準	最高 F.S.	密封
5~50°C	50kPa	300kPa	±1%自保	2~100%F.S.	5SCCM	400SLM	金

* 規格表為具有一般規格的質量流量控制器。可以通過選項進行更改。