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水蒸氣雙液清洗與超聲波/高壓清洗異物去除率比較

  • 發(fā)布日期:2023-07-11      瀏覽次數(shù):928
    • 水蒸氣雙液清洗與超聲波/高壓清洗異物去除率比較

      水蒸氣雙流體清洗與超聲波/高壓清洗(從超音速噴射噴嘴(OLED)以超音速噴射和清洗蒸汽和液體)的去除率比較

      異物去除率(OLED)比較

      異物去除率(OLED)比較

      與OLED玻璃板清洗的比較

      測(cè)量有機(jī)EL制造過(guò)程中附著在各薄膜上的異物去除率的數(shù)據(jù),證實(shí)了與超聲波+高壓清洗相比的壓倒性差異。 異物的去除率直接影響產(chǎn)量。

      蒸汽2流體清洗機(jī)組基本信息|SSC系列

      特點(diǎn)無(wú)刷子等耗材,大大降低運(yùn)行成本
      僅使用“純水"
      顯著減少化學(xué)品的使用
      顯著提高清潔能力
      也用于清潔半導(dǎo)體
      基本配置無(wú)金屬污染的蒸汽發(fā)生器
      超聲波蒸汽噴射噴嘴
      與洗衣機(jī)的溝通
      蒸汽發(fā)生器蒸汽產(chǎn)生量:2~100kg/h
      * 可提供與所需蒸汽量相對(duì)應(yīng)的尺寸。
      電源: DIW, N2, CDA, 200VAC 或 100VAC
      蒸汽壓力控制范圍:0.05-0.3MPa
      應(yīng)用/成就示例【應(yīng)用】
      ?太陽(yáng)能電池基板的清洗 ?LED制造中的金膜剝離 ?半導(dǎo)體制造工藝 ?玻璃基板等的清洗 ?異物和聚合物的去除 ?去除油脂、指紋等 ?醫(yī)療應(yīng)用 ?美容應(yīng)用






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