日本東麗氧化鋯式氧氣計在半導體行業的運用

發布日期：2021-06-25      瀏覽次數：1320

日本東麗氧化鋯式氧氣計在半導體行業的運用

氧氣表半導體/液晶/電子元件相關應用半導體、電子元件用氧分析儀
MS-500、LC-450A、LC-450D、LC-860

氧氣計 MS-500



• 多可同時測量 8 個點
• 可以顯示從 ppm 級到 99% 的各種濃度。
• 適合安裝在半導體制造設備、真空設備等上。
• 傳感器為直插式（NW 法蘭用于真空 16/25/40）
• 高度耐用的傳感器采用特殊涂層，以進一步提高耐用性。

 

氧氣計LC-450A、LC-450D



• 
  可以顯示從測量的ppm 水平到 99% 的廣泛濃度范圍。
• 提高傳感器的耐用性
  氧傳感器經過特殊處理以提高其耐用性。
• 交流寬電源 AC100-240VAC (LC-450A)
  * LC-450D由24V DC驅動
• 緊湊且易于安裝
  深度比我們的傳統型號更短，并且不占用太多空間。
• 符合 RoHS 指令的產品
• CE標志自我聲明產品
  EN61010-1：2002、EN61326：+A3：2003

氧氣計LC-860



• 低濃度測量 可測量從
  ppb級到99%
• 操作簡單
  按鍵操作簡單
• 吹掃功能
  比較 氣體更穩定，測量精度更高（僅限帶吹掃功能的規格）。
• 高可靠性傳感器 傳感器
  內部也可進行劣化防止處理（可選）