產品展示
PRODUCT DISPLAY
技術支持您現在的位置:首頁 > 技術支持 > 絕緣膜的開發與散熱改善用設備原理介紹

絕緣膜的開發與散熱改善用設備原理介紹

  • 發布日期:2021-11-19      瀏覽次數:1883
    • 絕緣膜的開發與散熱改善用設備原理介紹

      2ω法納米薄膜導熱儀TCN-2ω

      該裝置是目前世界上使用2ω法測量納米薄膜厚度方向導熱系數的商用裝置。與其他方法相比,可以輕松地進行樣品制作和測量。

      用途

      • 通過量化低K絕緣膜的熱阻,用于半導體器件的熱設計

      • 絕緣膜的開發與散熱的改善

      • 熱電薄膜應用評價

      特征

      • 可以測量在基板上形成的 20 至 1000 nm 薄膜在厚度方向上的熱導率。

      • 使用熱反射法通過溫度幅度檢測實現測量

      • 測量樣品的簡單預處理


      測量原理

      論文“絕熱邊界條件下2ω法評估薄板樣品的熱導率"

      當以 f/Hz 的頻率加熱金屬薄膜時,熱量以 2 f/Hz 的頻率變化。
      金屬薄膜(0) – 薄膜(1) – 基材三層體系中金屬薄膜表面的溫度變化(s) T (0) 在充分傳熱的條件下是一維的穿過金屬薄膜/薄膜,下面的公式用來表示傳熱模型的解析解。

      (Λ: 導熱系數 W m -1 K -1 , C: 體積比熱容 JK -1 m -3 , q: 每體積熱容W m -3 , d: 厚度 m, ω: 角頻率 (= 2πf) / 秒-1 )

      由于實數解(同相幅度)包含薄膜的信息,因此在相同條件下在不同頻率下進行測量,同相幅度(2ω)-0.5成正比。
      薄膜的熱導率λ 1由下式獲得。
      (M:斜率,n:截距)

      TCN-2ω示意圖

      TCN-2ωSiO 2薄膜的測量結果

      薄膜的評價

      測量樣品

      Si襯底上SiO 2薄膜(20-100 nm)示例

      薄膜厚度/nm19.951.096.8
      導熱系數/Wm -1 K -10.821.121.20


    聯系方式
    • 電話

    • 傳真

    在線交流
    主站蜘蛛池模板: 精品一区二区三区在线视频观看| 色综合67194| 成年女人毛片免费播放视频m| 乱中年女人伦av三区| 欧美日韩综合网| 人妻少妇无码精品视频区| 老头一天弄了校花4次| 国产午夜无码福利在线看网站| 青青青国产依人精品视频| 欧美日本一道高清免费3区| 先锋影音av资源网| 美女舒服好紧太爽了视频| 国产乱子伦农村XXXX| 免费福利视频导航| 国产精品亚洲综合天堂夜夜| 97精品依人久久久大香线蕉97| 好吊操这里只有精品| 中文字幕乱码系列免费| 日本在线观看www| 久久精品免费一区二区三区| 极品丝袜老师h系列全文阅读| 亚洲国产欧美日韩| 欧美日韩国产高清视频| 亚洲第一综合天堂另类专| 狠狠色狠狠色综合网| 免费看黄色a级片| 精品国产品香蕉在线观看75| 国产AV无码国产AV毛片| 色综合天天综合网站中国| 国产免费久久精品丫丫| 麻豆aⅴ精品无码一区二区| 国产成人高清视频免费播放| 色www永久免费| 国产黄色片在线免费观看| 99久久人妻无码精品系列蜜桃 | 催奶虐乳戴乳环| 粗大的内捧猛烈进出视频| 制服丝袜电影在线观看| 精品国产va久久久久久久冰| 制服美女视频一区| 福利一区在线视频|